Огляд. Метою статті є обґрунтування вибору дослідження та розробки технік виготовлення ємністних сенсорів. Обговорюються переваги та недоліки порівняно з п'єзорезистивними сенсорами, а також проблеми, які перешкоджають їх широкому застосуванню. Показано, що сенсори ємності мають переваги перед п'єзорезистивними сенсорами у вигляді вищої чутливості, меншої споживаної потужності, кращої температурної стійкості та меншої чутливості до дрейфу. Однак ринок датчиків тиску займають п'єзорезистивні сенсори. Сенсори ємності мають високу чутливість, тому вони особливо привабливі для застосування в біомедичних імплантах або інших телеметричних застосуваннях, і на даний момент їх використання обмежується саме цими областями.